Cours 10 | Qu’est ce qu’un MEMS ?

Titre: Qu’est ce qu’un MEMS ?

Auteurs: Olivier FRANCAIS

Résumé:

Les MEMS sont une réalité…
• Ils couvrent de nombreux domaines d’applications Pluridisciplinaire
• Très fortes industrialisations pour les Capteurs «Microsystèmes»
• Ils promettent des performances accrues pour les applications types RF ou Optiques
• Ils ont permis de très forte innovation pour le domaine de l’analyse «bio-médico-chimique» qui est le secteur clé!!
• Ils constituent l’étape intermédiaire qui mènera vers les nanotechnologies… les NEMS…

Extrait du sommaire:

• Définition de la notion de MEMS / Microsystèmes
1 Micro-Electro-Mechanical-Systems
• Famille de MEMS : les applications
1. Microsystèmes (Capteurs / Actionneurs)
2. MOEMS
3. RFMEMS
4. BIOMEMS

Formation capteurs et actionneurs cours 10

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